首頁 > 期刊 > 自然科學與工程技術(shù) > 工程科技II > 工業(yè)通用技術(shù)及設備 > 真空科學與技術(shù)學報 > 高頻高壓低溫等離子體發(fā)生研究 【正文】
高頻高壓低溫等離子體發(fā)生研究
伍遠博; 陶智; 黃敏; 顧中浩; 徐超; 周長偉; 江均均; 吳迪 蘇州大學光電科學與工程學院; 蘇州215006
- 低溫等離子體
- 全橋移相
- 零電壓軟開關
- 高頻諧振
摘要：針對傳統(tǒng)氣體放電式等離子體發(fā)生器電源效率不高、使用壽命有限等問題,提出了一種零電壓軟開關高頻高壓低溫等離子體發(fā)生方法,并設計了一個高效率低損耗的高頻高壓低溫等離子體發(fā)生系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過移相全橋軟開關控制電路提供控制信號,光耦隔離電路降低強電干擾,在零電壓軟開關驅(qū)動下,經(jīng)高頻諧振升壓電路對輸入信號升壓,實現(xiàn)低溫等離子體的穩(wěn)定發(fā)生。實驗結(jié)果表明,系統(tǒng)工作頻率穩(wěn)定在262kHz,系統(tǒng)能夠穩(wěn)定發(fā)生低溫等離子體,等離子體束長可達13.1cm,系統(tǒng)工作穩(wěn)定后,零電壓軟開關系統(tǒng)的效率為87.4%,與傳統(tǒng)直流等離子體發(fā)生炬最高77%效率相比,提高了10.4%,實現(xiàn)了驅(qū)動管耗的降低和輸入電源效率的提升。
- 低溫等離子體
- 全橋移相
- 零電壓軟開關
- 高頻諧振
摘要：針對傳統(tǒng)氣體放電式等離子體發(fā)生器電源效率不高、使用壽命有限等問題,提出了一種零電壓軟開關高頻高壓低溫等離子體發(fā)生方法,并設計了一個高效率低損耗的高頻高壓低溫等離子體發(fā)生系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過移相全橋軟開關控制電路提供控制信號,光耦隔離電路降低強電干擾,在零電壓軟開關驅(qū)動下,經(jīng)高頻諧振升壓電路對輸入信號升壓,實現(xiàn)低溫等離子體的穩(wěn)定發(fā)生。實驗結(jié)果表明,系統(tǒng)工作頻率穩(wěn)定在262kHz,系統(tǒng)能夠穩(wěn)定發(fā)生低溫等離子體,等離子體束長可達13.1cm,系統(tǒng)工作穩(wěn)定后,零電壓軟開關系統(tǒng)的效率為87.4%,與傳統(tǒng)直流等離子體發(fā)生炬最高77%效率相比,提高了10.4%,實現(xiàn)了驅(qū)動管耗的降低和輸入電源效率的提升。
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真空科學與技術(shù)學報
- 預計1-3個月 預計審稿周期
- 0.43 影響因子
- 工業(yè) 快捷分類
- 月刊 出版周期
主管單位：中國科學技術(shù)協(xié)會;主辦單位：中國真空學會
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