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一種適用于原位納米力學(xué)測試的AFM測頭
李艷寧; 曾薈燕; 吳森; 劉璐; 胡曉東 精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室(天津大學(xué)); 天津300072
- 納米力學(xué)
- 原子力顯微鏡
- 壓電掃描器
- 光杠桿
- 電容傳感器
摘要：設(shè)計(jì)并制作了一種適用于原位納米力學(xué)測試的原子力顯微鏡（AFM）測頭.測頭由光學(xué)檢測系統(tǒng)和Z向壓電陶瓷微位移機(jī)構(gòu)組成.其中光學(xué)檢測系統(tǒng)采用光杠桿與顯微鏡同軸光路檢測探針形變,壓電位移機(jī)構(gòu)內(nèi)置電容傳感器可實(shí)現(xiàn)探針進(jìn)給量的閉環(huán)控制.標(biāo)定實(shí)驗(yàn)表明該測頭閉環(huán)位移分辨力優(yōu)于10 nm,在標(biāo)定范圍內(nèi)具有很好的線性.利用該測頭對某型微懸臂梁法向彈性常數(shù)進(jìn)行了測量,測得值與采用具有溯源性的標(biāo)定方法所得結(jié)果一致.
- 納米力學(xué)
- 原子力顯微鏡
- 壓電掃描器
- 光杠桿
- 電容傳感器
摘要：設(shè)計(jì)并制作了一種適用于原位納米力學(xué)測試的原子力顯微鏡（AFM）測頭.測頭由光學(xué)檢測系統(tǒng)和Z向壓電陶瓷微位移機(jī)構(gòu)組成.其中光學(xué)檢測系統(tǒng)采用光杠桿與顯微鏡同軸光路檢測探針形變,壓電位移機(jī)構(gòu)內(nèi)置電容傳感器可實(shí)現(xiàn)探針進(jìn)給量的閉環(huán)控制.標(biāo)定實(shí)驗(yàn)表明該測頭閉環(huán)位移分辨力優(yōu)于10 nm,在標(biāo)定范圍內(nèi)具有很好的線性.利用該測頭對某型微懸臂梁法向彈性常數(shù)進(jìn)行了測量,測得值與采用具有溯源性的標(biāo)定方法所得結(jié)果一致.
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納米技術(shù)與精密工程
- 預(yù)計(jì)1-3個(gè)月 預(yù)計(jì)審稿周期
- 0.47 影響因子
- 工業(yè) 快捷分類
- 季刊 出版周期
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