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微懸臂梁彎曲法測量3C-SiC薄膜斷裂強度
路遠; 董培濤; 吳學忠 國防科學技術大學機電工程與自動化學院; 長沙410073
- 微懸臂梁
- 彎曲實驗
- 威布爾統(tǒng)計
- 斷裂強度
摘要：針對惡劣環(huán)境下MEMS對高強度材料的需求,采用化學氣相沉積（CVD）外延生長3C-SiC薄膜.利用微力學操縱系統(tǒng),對3C-SiC微懸臂梁進行了彎曲實驗.利用厚板結構的有限元仿真和威布爾統(tǒng)計,得到3C-SiC薄膜斷裂強度.結果表明：不同尺寸3C-SiC微懸臂梁威布爾特征強度為1 852.15 MPa、2 554.56 MPa、2 598.39 MPa、2 911.64 MPa,威布爾模數(shù)分別為9.547、11.541、18.909、20.733.斷裂強度隨微懸臂梁寬度增加而減小,威布爾模數(shù)也減小,分析認為：結構尺寸越大的微懸臂梁,含有的生長缺陷（如孔洞、裂紋等）越多,造成其斷裂強度越低.
- 微懸臂梁
- 彎曲實驗
- 威布爾統(tǒng)計
- 斷裂強度
摘要：針對惡劣環(huán)境下MEMS對高強度材料的需求,采用化學氣相沉積（CVD）外延生長3C-SiC薄膜.利用微力學操縱系統(tǒng),對3C-SiC微懸臂梁進行了彎曲實驗.利用厚板結構的有限元仿真和威布爾統(tǒng)計,得到3C-SiC薄膜斷裂強度.結果表明：不同尺寸3C-SiC微懸臂梁威布爾特征強度為1 852.15 MPa、2 554.56 MPa、2 598.39 MPa、2 911.64 MPa,威布爾模數(shù)分別為9.547、11.541、18.909、20.733.斷裂強度隨微懸臂梁寬度增加而減小,威布爾模數(shù)也減小,分析認為：結構尺寸越大的微懸臂梁,含有的生長缺陷（如孔洞、裂紋等）越多,造成其斷裂強度越低.
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納米技術與精密工程
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