摘要：本文以自制摻Ce3+釔鋁石榴石(YAG)熒光粉為原料經燒結得到陶瓷靶材,利用射頻濺射法在石英基片上制備薄膜,氬氣工作氣壓為3Pa,隨后在氮氣氣氛下1100℃/3h退火處理得到Ce3+:YAG熒光薄膜。研究了在980nm紅外激光照射下Ce3+摻雜YAG薄膜的上轉換發光現象。實驗結果表明在紅外激光泵浦下,薄膜發出的熒光來自于Ce3+離子的5d-4f躍遷。熒光強度與泵浦光功率之間的線性關系表明了Ce3+:YAG薄膜的上轉換發光由雙光子吸收過程所主導。