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三重圖樣光刻與定向自組裝技術(shù)下通孔層的分解
李興權(quán); 吳莉莉; 朱文興 閩南師范大學(xué)數(shù)學(xué)與統(tǒng)計(jì)學(xué)院; 福建漳州363000; 福州大學(xué)離散數(shù)學(xué)研究中心; 福建福州350108
- 掩模版
- 引導(dǎo)槽
- 分配
- 定向自組裝
- 三重圖樣光刻
摘要：針對(duì)三重圖樣光刻和定向自組裝技術(shù)下通孔層的掩模版和引導(dǎo)槽分配問題,首先為給定版圖構(gòu)造一個(gè)加權(quán)沖突分組圖;然后,基于加權(quán)沖突分組圖提出一個(gè)整數(shù)線性規(guī)劃模型.同時(shí),為了加快整數(shù)規(guī)劃的求解速度,引入一些有效的不等式將一些不好的結(jié)果剪枝掉.對(duì)比當(dāng)前相關(guān)工作,基于整數(shù)規(guī)劃的方法可以減少42倍的沖突數(shù)目和78%的總成本.
- 掩模版
- 引導(dǎo)槽
- 分配
- 定向自組裝
- 三重圖樣光刻
摘要：針對(duì)三重圖樣光刻和定向自組裝技術(shù)下通孔層的掩模版和引導(dǎo)槽分配問題,首先為給定版圖構(gòu)造一個(gè)加權(quán)沖突分組圖;然后,基于加權(quán)沖突分組圖提出一個(gè)整數(shù)線性規(guī)劃模型.同時(shí),為了加快整數(shù)規(guī)劃的求解速度,引入一些有效的不等式將一些不好的結(jié)果剪枝掉.對(duì)比當(dāng)前相關(guān)工作,基于整數(shù)規(guī)劃的方法可以減少42倍的沖突數(shù)目和78%的總成本.
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福州大學(xué)學(xué)報(bào)·自然科學(xué)版
- 預(yù)計(jì)1-3個(gè)月 預(yù)計(jì)審稿周期
- 1.23 影響因子
- 科學(xué) 快捷分類
- 雙月刊 出版周期
主管單位：福建省教育廳;主辦單位：福州大學(xué)
