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淺談多步擴散制備太陽電池PN結(jié)工藝
趙學玲 光伏材料與技術國家重點實驗室; 英利集團有限公司; 河北保定; 071000
- 多步擴散制備法
- 太陽能pn結(jié)
- 中間層技術
- 隧穿結(jié)技術
摘要：針對太陽能電池PN結(jié)制備技術，本文分析工藝設計過程中，硅片磷濃度分布情況會給電池性能造成極大的影響。現(xiàn)有的太陽電池PN結(jié)制備工藝中，多步擴散制備工藝具有較強的應用優(yōu)勢，能夠減少死層，增加電活性磷摻雜量。文中重點對多步擴散制備工藝的應用相關問題，以及硅基薄膜多結(jié)太陽能制備的其他工藝，做了簡單的論述分析。
- 多步擴散制備法
- 太陽能pn結(jié)
- 中間層技術
- 隧穿結(jié)技術
摘要：針對太陽能電池PN結(jié)制備技術，本文分析工藝設計過程中，硅片磷濃度分布情況會給電池性能造成極大的影響。現(xiàn)有的太陽電池PN結(jié)制備工藝中，多步擴散制備工藝具有較強的應用優(yōu)勢，能夠減少死層，增加電活性磷摻雜量。文中重點對多步擴散制備工藝的應用相關問題，以及硅基薄膜多結(jié)太陽能制備的其他工藝，做了簡單的論述分析。
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電子科學技術
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