摘要：二次靜電放電(secondary electrostatic discharge,SESD)是一種由一次靜電放電引起的發(fā)生在儀器內(nèi)部微小縫隙間的擊穿放電現(xiàn)象,可對晶體管等很多元件造成破壞.文章首先搭建由靜電放電模擬電路、二次放電模擬電路和電流靶電路組成的電路級仿真模型,初步探索SESD的波形,并與初始模型進行對比分析,驗證已知的理論.其次基于實驗研究與數(shù)據(jù)分析的方法,總結二次放電波形特點、峰值特性和時延特性.研究表明:二次放電電流峰值大于一次放電電流峰值,且受放電電壓、放電時延等參數(shù)影響;二次放電的時延呈正態(tài)分布.這一研究結果符合并驗證了目前對二次放電微觀過程研究所得出的相關理論.